透过率较清洁基线降 5 % 即判污染：有机物走丙酮—无水乙醇—去离子水三步擦洗，无机垢用 pH 3 稀硝酸泡 ≤10 min，禁 pH>10 强碱与超过 10 min 的超声。
人眼对 2 % 以内的透过率变化不敏感，但 2 % 的损失足以让长周期实验的产氢曲线整体下移。所以先建立清洁基线：新窗在 250–800 nm 扫一遍（空气参比），记录 365、420、500 nm 三个波长的透过率。此后按 ΔT 分级：≤2 % 不处理（常规分光光度计重复性 ±0.3 %）；2–5 % 轻度，擦拭即可；5–15 % 中度，需分类清洗并复测；>15 % 或雾度 >1.5 % 先判断是膜还是本体损伤。
判别动作很简单：侧光照射看散射。斜射下呈连续雾状反光的是表面膜，可以洗掉；呈离散亮点或丝状痕迹的是本体损伤，洗不回来。
| 类型 | 典型来源 | 外观特征 | 透过率影响 | 处理方向 |
|---|---|---|---|---|
| 有机膜 | 牺牲剂蒸气冷凝、真空脂扩散 | 均匀淡黄或彩虹油膜，擦后短暂变清 | 100 nm 膜在 250–350 nm 损失 3–8 % | 有机溶剂溶解 |
| 无机水垢 | Ca²⁺/Mg²⁺ 结垢、缓冲盐析出、自来水冲洗 | 白色点状或环状硬壳，擦不掉 | 等效减少受光面积 5–20 % | 稀酸溶解 |
| 热析出结焦 | 窗面局部 60–80 ℃ 时有机物碳化 | 棕褐斑，边缘清晰，位于光斑中心 | 损失 10–30 % | 先软化，重度换窗 |
| 催化剂沉积 | 搅拌不足、静置沉降、气泡携粉上浮 | 灰白粉层，可擦去，分布随流场 | 10 µm 粉层即挡住大部分入射光 | 冲洗 + 温和擦拭 |
第三类最易误判：有人见褐斑就当有机污染上丙酮，反复擦无效还把抛光面擦花。判断看位置——热析出一定落在光斑中心，且随光强加重；有机膜倾向覆盖整个窗面含边缘。若确认是热析出，该改的是冷却而非清洗频率。
石英在 pH > 9 时溶解速率明显上升，室温 0.1 mol/L NaOH 中可达约 0.1 nm/min，泡一夜就留下几十纳米蚀刻雾面，不可逆。蓝宝石耐碱好得多，但同样怕热磷酸与长时间强碱。
| 清洗剂 | 适用 | 推荐条件 | 禁忌 |
|---|---|---|---|
| 丙酮 | 有机膜、真空脂 | 室温，单向擦拭或浸洗 1–3 min | 沸点 56 ℃ 易留痕；溶胀聚碳酸酯窗座 |
| 无水乙醇 / 异丙醇 | 有机膜、水痕 | 室温，浸洗 1–5 min | 含水乙醇留水痕，须 ≥99.5 % |
| 去离子水 ≥18 MΩ·cm | 盐类、催化剂粉 | 冲洗 30–60 s，末道必用它 | 自来水冲洗等于制造水垢 |
| 稀硝酸 pH 3（约 0.5 % v/v） | 无机垢、金属氧化物 | 浸泡 ≤10 min、≤40 ℃，随后大量水冲 | 不可加热过夜；镀膜窗禁用 |
| 氧等离子体 | 单分子层有机膜 | 100–200 W，5–10 min | 对已碳化结焦无效 |
| 强碱 NaOH/KOH | 不建议 | — | pH > 9 蚀刻石英，不可逆 |
| 含氟洗液（HF） | 禁用 | — | 直接腐蚀石英与蓝宝石 |
还有两个常被忽略的限制：超声不超过 10 min，40 kHz、0.3–0.5 W/cm² 足够剥离颗粒，超时会在边缘倒角产生微崩边，成为新散射源；不要用纸巾干擦，纸纤维虽软，但夹带的 TiO₂ 颗粒（莫氏硬度 5.5–6）足以划伤 Ra 1 nm 的抛光面。
单窗全程约 20–30 min。若一轮后 ΔT 仍 >5 %，第 2、3 步最多重复两轮——反复化学处理本身在累积表面损伤。
| 验收指标 | 方法 | 合格判据 | 不合格的含义 |
|---|---|---|---|
| 透过率恢复率 | 分光光度计，365/420/500 nm 同位置复测 | ≥ 基线 98 % | 残留膜或已蚀刻 |
| 雾度 haze | 雾度计或积分球测漫透射比 | ≤1.0 %（光学级），≤1.5 % 可接受 | 表面粗糙度上升，散射增强 |
| 外观 | 斜射目视 + 10× 放大镜 | 无新增划痕、无残留斑、边缘无崩边 | 清洗手法或工具不当 |
只测透过率不够：薄层均匀蚀刻的窗，中心波长可能只降 2–3 %，雾度却已到 3 %，散射光改变床层光分布，这部分损失不体现在光功率计读数里，却实实在在压低了反应速率。
成本视角：常规口径石英窗约为蓝宝石的 1/5–1/8，但蓝宝石一旦被碱蚀或擦花损失更大。它的价值在耐压与宽波段，不在耐化学——所以更要用中性或弱酸清洗、严格禁碱洗与干擦。
不一定。测 365/420/500 nm 透过率与基线比：降幅 ≤5 % 且雾度 ≤1.5 % 属轻度污染，可擦拭；透过率降幅小但雾度明显升高，多为表面蚀刻，清洗无效。侧光下连续雾状反光偏膜污染，离散亮点偏本体损伤。
可以，但须 ≥99.5 % 无水乙醇或异丙醇，并先用洗耳球吹掉浮粉。含水棉片会留水痕，夹带颗粒在干擦时划伤 Ra 1 nm 抛光面。单向擦拭、每次换面，不要画圈反复摩擦同一区域。
40 kHz、0.3–0.5 W/cm²，5–10 min 足够。超过 10 min 会在边缘倒角产生微崩边，形成新散射源，严重时应力集中导致耐压下降。清洗液用去离子水或中性表面活性剂，不用碱性液。
以新窗或首次清洗后读数为基线，恢复 ≥98 % 合格，同时雾度 ≤1.0 %（光学级）或 ≤1.5 %（一般实验）。两轮后仍低于 95 %，说明已造成表面损伤，应换窗而非加大清洗强度。
